前期回顾:考古行业古董鉴定需要用什么仪器?

二次离子质谱仪(SIMS)分析方法

二次离子质谱仪(SIMS)分析方法

Q:

样品大约120个微米,想研究下表层深度元素分析(5~6um左右),用什么检测仪器可以做呢?

A:

扫描电镜+能谱应该可以

SIMS(二次离子质谱)或者AES(俄歇电子能谱)可以做空沿深度方向上的分布

EDS(扫描电子显微镜能谱仪)面扫描就应该可以了吧

引用: SIMS或者AES可以做空沿深度方向上的分布

有一个问题是,深度剖析的话,对于你说的检测方法来说,120um的样品检测时是不是可以人为设定需要打到的深度

可是试试XPS(X射线光电子能谱),是专门做表面元素分析的,精度也比较高,但样品元素含量太少的话,对精度有一定影响。表面剥离2个原子层左右。具体你可以联系厂家,仔细问问情况,看能不能满足你的要求。不过做一个样品的费用比较高,4000左右。

对于微纳米级的粉体来说,而且要求比较高精度,用EDS能谱的确不太适合;
XPS可以考虑,制样的问题要注意,不过我们这XPS没有那么贵,同样是微纳米级的粉体,我们去南大做的,一个样是300.

如果有的话,俄歇能谱(Auger electron spectroscopy)是最好的